Interferómetros

Alta precisión para mediciones de distancia y espesor sin contacto

Los innovadores interferómetros de luz blanca de Mesurex son una referencia en mediciones de distancia y espesor de alta precisión.

Estos sensores permiten resultados de medición estables con una resolución subnanométrica ofreciendo un rango de medición y una distancia de offset comparativamente grande.

Los interferómetros están disponibles en diferentes series según el tipo de medición:

  • Para mediciones de distancia industrial de alta precisión
  • Para mediciones de distancia con máxima precisión (resolución subnanométrica)
  • Para mediciones de espesor precisas

Características principales

  • Medición de distancia absoluta con precisión nanométrica
  • Mediciones de espesor independientes de la distancia
  • El mejor en su clase: resolución <30 picómetros (IMS5600-DS)
  • Alta estabilidad de señal gracias a nuevos algoritmos de evaluación y compensación activa de temperatura
  • Amplia distancia de offset
  • Configuración sencilla de parámetros a través de la interfaz web
  • Sensores optimizados para la industria con carcasa metálica robusta y cables flexibles
  • Sensores y cables aptos para vacío

Interferómetros para la industria y la automatización

El interferómetro de luz blanca industrial consta de un sensor robusto, un cable de sensor altamente flexible y un controlador en una carcasa de aluminio que se puede montar en un riel DIN. El controlador tiene un control de temperatura activo que compensa los cambios en la temperatura ambiente y logra así una enorme estabilidad de temperatura.

Gracias a su diseño robusto, el interferómetro también se puede integrar en entornos industriales. Las longitudes de cable de hasta 10 m también permiten una separación espacial entre el sensor y el controlador. Para tareas de medición en salas blancas y en vacío, se encuentran disponibles sensores, cables y accesorios adecuados.

La extrema resolución y el pequeño punto de luz permiten medir los detalles y estructuras más pequeños

Los sensores del interferómetro permiten una resolución subnanométrica. Además, generan un punto de luz de 10 µm en todo el rango de medición. Esto permite la medición de pequeños detalles como estructuras en semiconductores y componentes electrónicos miniaturizados. El punto de luz se visualiza mediante un láser piloto y facilita la alineación del sensor.

Facilidad de uso a través de la interfaz web

Debido a una interfaz web fácil de usar, no es necesario ningún software adicional para configurar el controlador y los sensores. Se puede acceder a la interfaz web a través de una conexión Ethernet que permite configurar de forma rápida y sencilla, por ejemplo, el promedio, la velocidad de medición y los valores predeterminados.

Interfaces modernas para la integración en máquinas y sistemas

El controlador ofrece interfaces integradas como Ethernet, EtherCAT y RS422, así como conexiones de codificador adicionales, salidas analógicas, entradas de sincronización y entradas/salidas digitales. Esto permite integrar el interferómetro en todos los sistemas de control y programas de producción.

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